氮气纯化器厂家**纯氮气纯化器设备|**纯氮气纯化器设备 流量:10~10000Nm³/h;气体首先通过高温催化氧化工序,将气体中的CH4、还原性杂质与O2反应转化为H2O和CO2,然后通过多柱吸附工序深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC、CH4杂质;吸附柱附饱和后可通氢加热再生,反复使用;多柱交替吸附、再生,可实现对气体的连续纯化。①半导体、LED/激光、太阳能光伏行业:器件制备工艺中外延、扩散、MOCVD、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序设备所需的N2、H2、Ar、NH3等气体进行纯化②光纤行业:对保护氮、氦气进行终端纯化③气体行业:对气源气体进行纯化④冷轧行业:对保护氮气进行纯化⑤化工行业:对氮、氢、气/液相烃类脱O2、H2O纯化。氮气纯化器厂家